信然螺杆真空泵迎来【深圳华为】合格供应商技术人员的关注。带着怀疑和不信，带着专业的仪器和仪表到制砖厂客户现场，测信然螺杆真空泵的实际真空度数据。结果对测试结果赞不绝口。所测数据均符满足或大于客户实际需求，甚至远远超过国外品牌真空泵真空度很高，尤其是噪音低于65分贝，让客户不敢相信。

信然螺杆真空泵：“只有你想不到，没有我们做不到”的真空度和噪音。我们信然只做世界真空泵行业的领军企业。

信然螺杆真空泵：清洁；安全；耐磨；造价低；维修方便；性能稳定；振动小；噪音低等优点。

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和高级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高级真空泵抽气(见图1).高级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高级和超高级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

信然公司螺杆泵特点：

1.转子型线啮合均匀，密封性好，抽气效率高。

2.极限真空高，极限压力可达0.2Pa。

3.进口了一批螺杆转子专用加工中心，加工精度高，产品性能稳定。

4.螺杆泵转子均作G1级动平衡试验，运行时泵的振动小。

5.泵标配定制电机，泵油腔与电机之间形成封闭式结构，取消了电机端轴伸动密封，杜绝了轴端漏油问题。

6.泵标配专用可拆洗式消声器，消声效果好，噪声低；同时便于拆洗维护。

7.螺杆泵结构合理，能适应多种维护、保养措施，对多种对泵有危害性的情况拥有相对应的处理方法，并可配置相对应的结构或附件，针对性强、维护效果好，操作简单，处理时间短，能更好地保证设备的正常运转。

如图所示,信然螺杆真空泵内装有一-对平行的螺旋状的转子,两个转子的泵体内通过一对精密齿轮保持同步反向旋转。转子与转子之间,转子与泵体之间又有摩擦且保持一-定的间隙 ,两个转子与...

压强范围  真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

螺杆式真空泵 200～1100  1105。

活塞式真空泵 1105～1.3102 1105。

旋片式真空泵 1105—6.710-1 1105。

水环式真空泵 1105—2.7103 1105。

罗茨真空泵 1.3103—1.3 1.3103。

涡轮分子泵1.3—1.310-5 1.3。

水蒸气喷射泵 1105—1.310 -1 1105。

油扩散泵 1.310-2—1.310 -7 1.310。

油蒸气喷射泵 1.310—1.310 -2<1.3105。

分子筛吸附泵 1105—1.310 -1 1105。

溅射离子泵 1.310-3—1.310 -9 6.710-1。

钛升华泵 1.310-2—1.310 -9 1.310-2。

锆铝吸气剂泵 1.310—1.310 -11 1.310。

低温泵 1.3—1.310-11 1.3—1.310-1。

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