螺杆式真空泵也是基于静态压缩系统，作为设计原理，与罗茨泵的压力产生是通过“内部”体积的减少相反。

螺杆式真空泵是由两根螺杆组成，一根右旋螺纹另外一根左旋螺纹。两根结合的非常密致螺杆，无摩擦的向压缩腔转动，经由一根精密齿轮同步。压缩腔和特别形状的螺杆形成了压缩室。由于两根螺杆反方向运转，与吸气点连接的腔室被放大，气体被输送至压缩腔。腔室沿吸气侧到压力侧轴向移动。

在输送期间，由于流量的增加使得腔室中大量的气体增加。压力侧的腔室沿着腔壁轴向移动，体积逐渐减少直到螺杆的前表面打开压力通道，预压缩气体通过压力连接点被排出。冷却水被获得用于冷却外面的腔壁。

部分规格的泵，附加的冷却气体能被导入泵体。

无油螺杆泵应用

半导体、太阳能、化学、环保、工业应用、包装、制药、气力输送、研发/实验室、表面技术/电子产品 

无油螺杆泵

螺杆真空泵100m³/hr—1000m³/hr,可完全无油运行，它涉及到低碳生活和低生命周期成本。它的用途广泛，可用于食品包装、半导体、太阳能等众多领域，也可用于化学和制药行业。

VSA和VSB真空泵已通过各种认证。

优势一览

完全无油式运行
较高真空
具体方案的应用
可承受吸入水气较高的空气

无油螺杆真空泵是一种具有广阔应用前景和巨大市场潜力的干式真空泵。因为作为一种直排大气的低真空泵，与旋片泵、滑阀泵等传统油封泵相比，螺杆泵具有无油污染、排除水蒸气和固体粉尘颗粒能力强等特点；与水环泵等液封泵相比，螺杆泵具有真空度高、能耗低、抽除可溶性蒸汽时无废液产生的特点；与爪式泵、多级罗茨泵、涡旋泵等其它干式真空泵相比，螺杆泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长等特点。

　　目前，螺杆泵已被成功地应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域，所占真空泵市场份额逐年上升。